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Product Center

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桌面式小型磁控濺射儀

產(chǎn)品簡介

桌面式小型磁控濺射儀,體型小,觸摸屏控制,配有電動擋板,更帶有記憶儲存功能方便操作

產(chǎn)品型號:KT-Z1650PVD
更新時間:2024-03-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1528
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品牌鄭科探濺射氣體氬氣
樣品臺尺寸50mm樣品倉尺寸160mm
靶材尺寸50mm價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域綜合

桌面式小型磁控濺射儀        

KT-Z1650PVD真空鍍膜機已通過分銷商銷往許多大學(xué)和研究中心,并得到了很好的參考和反饋。

儀器描述:該產(chǎn)品為臺式磁控濺射鍍膜機,能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑?span>Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內(nèi)即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊,全自動控制,設(shè)計符合人體工程學(xué),所得結(jié)果一致,可重復(fù)性高。637527962092626767271.jpg

桌面式小型磁控濺射儀技術(shù)參數(shù);

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口











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